高能电子束轰击样品表面，激发出各种反应样品特征的信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、X射线等，再利用不同的信号探测器接受信号转换成图像信息，其中通过二次电子可形成样品表面形貌像，通过背散射电子可形成样品成分衬度像。

1、微观形貌观察；

2、元素组成与分布分析；

3、晶体结构与取向分析。