利用高压电场中电离为离子态的氩离子在加速电压的作用下高速轰击样品，对样品进行逐原子层级别地剥蚀从而达到抛光和加工效果。针对不同的材料，设置不同的电压、电流、离子枪的角度、离子束窗口，控制氩离子束作用的深度、强度以及角度，可制备出表面光滑无损伤、还原材料内部真实结构的高质量的抛光面，从而在显微镜上成像，进而进行材料的微观组织、元素成分、晶体结构等分析。

用于制备表面光滑无损伤、还原材料内部真实结构的抛光面样品，后续可进行扫描电镜观察及电子背散射衍射分析，从而分析材料的微观组织、元素成分、晶体结构。