辉光放电源在低压惰性气体氛用中施加电场，形成等离子体。样品表面被正离子撞击发生溅射，溅射出的原子进入等离子体中离子化，导入质量分析器，根据质荷比将不同离子分开，并将具有特定质荷比的离子传输到检测器，应用相对灵敏度因子计算出各元素的质量分数。

1、高纯金属、半导体等导电材料的痕量杂质分析；

2、沉积物、氧化物等非金属材料的杂质分析；

3、由镀层、电沉积、渗透等工艺制备的层状样品的深度分析。