利用等离子体激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子可进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。利用分光系统将光源发射的光分解为按波长排列的光谱，之后利用光电器件检测光谱。根据测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。

1、材料类检测：主要包括传统金属材料以及新型材料的元素检测；

2、地质、矿产、农业行业的检测：主要应用于分析地质、矿产、土壤等材料中的元素检测以及研究。