试样中的氧和石墨坩埚的碳形成CO和少量的CO2。被红外池检测后气体通过热的氧化铜，CO转换成CO2, H2转换成H2O。随后进入另外的红外池，检测H2O和CO2从而得到H和O。检测完的H2O和CO2被无水高氯酸镁、碱石棉从载气中去除掉，以避免被热导池检测到。最后，混合试样气体进入热导池得到N的分析结果。

各种无机材料、钢铁、有色金属、硬质合金陶瓷材料中的氧氮氢同时测定。