X 射线荧光法可测定各种形式和性质的导体或非导体、固体或液体材料，分析元素涵盖元素周期表中多达84 个元素，其中典型的样品有玻璃、塑料、金属、矿石、耐火材料和地质样品。与其他分析技术比，XRF 具有分析速度快、制样方便、稳定性和精度好以及动态范围宽等优点。